ക്ലീൻറൂമുകളുടെ പ്രവർത്തനത്തിൽ ഈർപ്പം ഒരു സാധാരണ പാരിസ്ഥിതിക നിയന്ത്രണ അവസ്ഥയാണ്. സെമികണ്ടക്ടർ ക്ലീൻ റൂമിലെ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുടെ ലക്ഷ്യ മൂല്യം 30 മുതൽ 50% വരെ പരിധിയിലായിരിക്കാൻ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് പിശക് ±1% എന്ന ഇടുങ്ങിയ പരിധിക്കുള്ളിൽ, ഉദാഹരണത്തിന് ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിക് ഏരിയയിൽ - അല്ലെങ്കിൽ വളരെ അൾട്രാവയലറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗ് (DUV) ഏരിയയിൽ അതിലും ചെറുതാകാൻ അനുവദിക്കുന്നു. - മറ്റ് സ്ഥലങ്ങളിൽ, നിങ്ങൾക്ക് ±5% വരെ വിശ്രമിക്കാം.
കാരണം ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയ്ക്ക് ക്ലീൻ റൂമിന്റെ മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രകടനത്തിന് കാരണമാകുന്ന നിരവധി ഘടകങ്ങളുണ്ട്, അവയിൽ ചിലത് ഇതാ:
● ബാക്ടീരിയ വളർച്ച;
● മുറിയിലെ താപനിലയിൽ ജീവനക്കാർക്ക് അനുഭവപ്പെടുന്ന സുഖസൗകര്യങ്ങളുടെ പരിധി;
● സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് പ്രത്യക്ഷപ്പെടുന്നു;
● ലോഹ നാശം;
● ജല നീരാവി ഘനീഭവിക്കൽ;
● ലിത്തോഗ്രാഫിയുടെ അപചയം;
● ജല ആഗിരണം.
60% ൽ കൂടുതൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ബാക്ടീരിയകൾക്കും മറ്റ് ജൈവ മാലിന്യങ്ങൾക്കും (പൂപ്പൽ, വൈറസുകൾ, ഫംഗസുകൾ, മൈറ്റുകൾ) സജീവമായി പെരുകാൻ കഴിയും. ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 30% കവിയുമ്പോൾ ചില സസ്യജാലങ്ങൾ വളരും. ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 40% നും 60% നും ഇടയിലായിരിക്കുമ്പോൾ, ബാക്ടീരിയയുടെയും ശ്വസന അണുബാധകളുടെയും ഫലങ്ങൾ കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും.
40% മുതൽ 60% വരെയുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രത മനുഷ്യർക്ക് സുഖകരമായ ഒരു മിതമായ പരിധിയാണ്. അമിതമായ ഈർപ്പം ആളുകളെ വിഷാദരോഗികളാക്കാം, അതേസമയം 30% ൽ താഴെയുള്ള ഈർപ്പം ആളുകളെ വരണ്ടതാക്കാം, വിണ്ടുകീറാം, ശ്വസന അസ്വസ്ഥത, വൈകാരിക അസ്വസ്ഥത എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും.
ഉയർന്ന ഈർപ്പം വൃത്തിയുള്ള മുറിയുടെ ഉപരിതലത്തിൽ സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് അടിഞ്ഞുകൂടുന്നത് കുറയ്ക്കുന്നു - ഇതാണ് ആഗ്രഹിച്ച ഫലം. കുറഞ്ഞ ഈർപ്പം ചാർജ് അടിഞ്ഞുകൂടുന്നതിനും ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജിന്റെ കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്ന ഒരു ഉറവിടത്തിനും കൂടുതൽ അനുയോജ്യമാണ്. ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 50% കവിയുമ്പോൾ, സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജ് വേഗത്തിൽ ചിതറാൻ തുടങ്ങും, എന്നാൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 30% ൽ കുറവാണെങ്കിൽ, അവ ഇൻസുലേറ്ററിലോ അൺഗ്രൗണ്ടഡ് പ്രതലത്തിലോ വളരെക്കാലം നിലനിൽക്കും.
35% നും 40% നും ഇടയിലുള്ള ആപേക്ഷിക ആർദ്രത തൃപ്തികരമായ ഒരു വിട്ടുവീഴ്ചയായിരിക്കും, കൂടാതെ സ്റ്റാറ്റിക് ചാർജിന്റെ ശേഖരണം പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നതിന് സെമികണ്ടക്ടർ ക്ലീൻറൂമുകൾ സാധാരണയായി അധിക നിയന്ത്രണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ആപേക്ഷിക ആർദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, നാശന പ്രക്രിയ ഉൾപ്പെടെയുള്ള നിരവധി രാസപ്രവർത്തനങ്ങളുടെ വേഗത വർദ്ധിക്കും. വൃത്തിയുള്ള മുറിക്ക് ചുറ്റുമുള്ള വായുവുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്ന എല്ലാ പ്രതലങ്ങളും കുറഞ്ഞത് ഒരു ഏകപാളി വെള്ളത്താൽ മൂടപ്പെടും. ഈ പ്രതലങ്ങൾ വെള്ളവുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയുന്ന ഒരു നേർത്ത ലോഹ പൂശിയാൽ നിർമ്മിതമാകുമ്പോൾ, ഉയർന്ന ആർദ്രത പ്രതിപ്രവർത്തനത്തെ ത്വരിതപ്പെടുത്തും. ഭാഗ്യവശാൽ, അലുമിനിയം പോലുള്ള ചില ലോഹങ്ങൾക്ക് വെള്ളത്തിനൊപ്പം ഒരു സംരക്ഷിത ഓക്സൈഡ് രൂപപ്പെടുത്താനും കൂടുതൽ ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങൾ തടയാനും കഴിയും; എന്നാൽ കോപ്പർ ഓക്സൈഡ് പോലുള്ള മറ്റൊരു സാഹചര്യം സംരക്ഷണാത്മകമല്ല, അതിനാൽ ഉയർന്ന ആർദ്രതയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, ചെമ്പ് പ്രതലങ്ങൾ നാശത്തിന് കൂടുതൽ സാധ്യതയുണ്ട്.
കൂടാതെ, ഉയർന്ന ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, ബേക്കിംഗ് സൈക്കിളിനുശേഷം ഈർപ്പം ആഗിരണം ചെയ്യുന്നതിനാൽ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് വികസിക്കുകയും വഷളാവുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന ആപേക്ഷിക ആർദ്രതയും ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് അഡീഷനെ പ്രതികൂലമായി ബാധിച്ചേക്കാം; കുറഞ്ഞ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത (ഏകദേശം 30%) ഒരു പോളിമെറിക് മോഡിഫയറിന്റെ ആവശ്യമില്ലാതെ പോലും ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് അഡീഷൻ എളുപ്പമാക്കുന്നു.
ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ ക്ലീൻ റൂമിൽ ആപേക്ഷിക ആർദ്രത നിയന്ത്രിക്കുന്നത് ഏകപക്ഷീയമല്ല. എന്നിരുന്നാലും, കാലം മാറുന്നതിനനുസരിച്ച്, പൊതുവായി അംഗീകരിക്കപ്പെട്ട രീതികളുടെ കാരണങ്ങളും അടിസ്ഥാനങ്ങളും അവലോകനം ചെയ്യുന്നതാണ് നല്ലത്.
നമ്മുടെ മനുഷ്യ സുഖസൗകര്യങ്ങൾക്ക് ഈർപ്പം പ്രത്യേകിച്ച് ശ്രദ്ധേയമായിരിക്കില്ല, പക്ഷേ പലപ്പോഴും ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് ഈർപ്പം കൂടുതലുള്ളിടത്ത്, ഈർപ്പം പലപ്പോഴും ഏറ്റവും മോശം നിയന്ത്രണമാണ്, അതുകൊണ്ടാണ് വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ താപനിലയിലും ഈർപ്പം നിയന്ത്രണത്തിലും ഈർപ്പം മുൻഗണന നൽകുന്നത്.
പോസ്റ്റ് സമയം: സെപ്റ്റംബർ-01-2020